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JB/T 10030-1999 本标准是对 ZB J42 036-89《光栅线位移测量系统》的修订,修订时仅按有关规定作了编辑性修改,技术内容没有改变。 本标准规定了光栅线位移测量系统的基本参数、技术要求和试验方法。 本标准适用于分辨率为 0.1~10μm 的测量系统。 本标准于 1989 年 3 月 30 日首次发布。
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